精密濕度發生器所使用的材料和氣流經過精心設計，確保具有較短的濕度和溫度變化響應時間。溫度升高的變化率典型值為10°C/min，溫度下降的變化率為1.5°C/min；濕度升高的變化率典型值為10%RH/min，濕度下降的變化率為5%RH/min。使用濕度發生器濕度發生器，2小時內便可實現6點校準。而雙壓法濕度發生器對濕度或溫度變化的響應時間較長。對于類似的6點校準，普通的雙壓法發生器可能需要3個多小時。
精密濕度發生器主要利用以下五種原理。
1、改變已知濕度氣體（主要是指飽和濕氣）狀態的方法。我們知道，氣體的狀態由壓力、溫度和體積來確定，對于飽和濕氣，如果狀態條件不變，那末水汽的含量是恒定的，反之，若狀態改變，水汽含量亦隨之改變。于是可以利用熱力學P、v、T關系配制出所要求的濕度的氣體，基于這一原理的方法有改變壓力的方法，即雙壓法；改變溫度的方法，即雙溫法；以及同時改變壓力和溫度的方法。
2、混合法，它又可以分為混流法和分流法兩種。前者是將飽和濕氣或過熱蒸汽同干氣混合：后者是將一股干氣精確地按比例分為兩股，其中一股用水汽飽和，另一股仍保持干燥、而后進行混合。
3、膜滲透法，膜的一側是水，由于膜兩側的水汽分壓不同，于是水汽通過膜向另一側滲透。基干這一原理通常使用的方法是滲透管配氣技術。
4、溫度固定點法，即平衡水汽壓法，這種方法是利用某些鹽類或其它化合物的水溶液在一定的條件下其氣相中的水汽分壓保持恒定的原理。
5、化學方法。根據定比定律，氫和氧在催化劑存在的情況下能按比例地化合，生成定量的水。飽和器是這些發生器結構的重要組成部分，是發生含有飽和水汽的濕空氣的裝置，因此，建立在發生飽和濕氣基礎上的各種恒濕氣體發生器，其性能與飽和器的效率密切相關。從發生器的工作原理，特點和適用的濕度范圍出發，飽和器可以設計成多種形式，主要有（1）鼓泡式（2）噴霧式（3）塔板式（4）管式（5）離心式（6）“迷宮”式。
